A股离子注入机概念龙头股有：
1、万业企业600641：龙头。近5个交易日股价上涨3.01%，最高价为17.5元，总市值上涨了4.65亿，当前市值为154.48亿元。
万业企业2023年第二季度季报显示，公司实现总营收2.65亿，毛利率47.01%，每股收益0.04元。
集成电路业务专注离子注入机，出资4亿认购上海半导体装备材料产业投资基金，该基金先后投资飞凯材料、精测电子、长川科技、华卓精科和上海御渡等，并购紫光控股等集成电路装备材料核心项目。
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