上海微电子行业上市公司有：
从公司近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为8.59%，过去五年总资产收益率最低为2022年的5.05%，最高为2018年的10.85%。
从张江高科近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为2.94%，过去五年总资产收益率最低为2021年的1.85%，最高为2020年的5.93%。
全资子公司张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子10.78%股份，上海微电子是国产光刻机龙头。
从蓝英装备近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为-2.57%，过去五年总资产收益率最低为2020年的-8.92%，最高为2018年的0.93%。
从近五年总资产收益率来看，公司近五年总资产收益率均值为-2.15%，过去五年总资产收益率最低为2021年的-10.81%，最高为2019年的4.57%。
研发生产投影式光刻机用定位光栅部件，主要客户为上海微电子。
从近五年总资产收益率来看，近五年总资产收益率均值为0.77%，过去五年总资产收益率最低为2019年的-12.43%，最高为2022年的4.84%。
为上海微电子等集成电路芯片设备集成商，提供半导体激光退火系统及核心元器件。
